前面我們介紹過(guò)電火花線切割與金剛石線切割機(jī)的比較了，有興趣的朋友可點(diǎn)擊查看《電火花線切割機(jī)與金剛石線切割機(jī)哪個(gè)好》，這里又再寫(xiě)這么一篇帖子，單純的是想把兩種不同方法切割的結(jié)果做個(gè)解說(shuō)。
以我公司的立式數(shù)控金剛石線切割機(jī)切割的多晶硅為例。
被切割材料：太陽(yáng)能多晶硅晶體。
規(guī)格尺寸為：145mm×126mm。
加工條件：線切割切削液
切割設(shè)備：CHSX5630-XL金剛石線切割機(jī)
加工詳情：一共切了三片，片加工速度慢，第二片速度加快，第三片速度快。記錄下切割的時(shí)間和檢測(cè)被加工多晶硅表面的平面度精度情況。
編號(hào)為1的多晶硅片，為切割的片，切割時(shí)間慢，耗時(shí)1個(gè)小時(shí)。效率達(dá)到18270mm²/小時(shí)?？床怀鼍€痕，摸起來(lái)很光滑，類(lèi)似磨床磨出來(lái)的效果。
編號(hào)為2的多晶硅片，為切割的第二片，切割時(shí)間耗時(shí)45分鐘。測(cè)量結(jié)果：薄處為3.44mm，厚處為3.47mm，表面平整度.03mm。表面效果看起來(lái)跟電火花線切割機(jī)床切割的多晶硅表面差不多，肉眼能看到線痕，但比電火花線切割的粗糙度更好一些。
編號(hào)為3的多晶硅片是第三片，切割時(shí)間為30分鐘?？梢悦黠@看出金剛石線痕。檢測(cè)結(jié)果薄處厚度為4.90mm，厚處為4.95mm，表面平整度.05mm。
圖為電火花線切割機(jī)床切割的單晶硅
試驗(yàn)結(jié)果：電火花線切割機(jī)床切割多晶硅的加工效率為5000mm²/小時(shí)，用金剛石線切割機(jī)床切割多晶硅的效率快可達(dá)30000mm²/小時(shí)。
